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真空烧结炉升降温度的调节

  对于真空烧结炉的温度调节点,很多人都比较关注运行实际的峰值温度。烧结炉一个最佳温度范围,太高的话算为过烧,过低的话算是欠烧。这两种情况都不是最佳的烧结效果。把握好温度的控制是找到最佳烧结温度范围的关键点。如何判断是欠烧还是过烧?请参考烧结炉上的电性能参数,可以通过它来判断。

  欠烧时,穿透氮化硅的银浆留有残余,那么进入N型层的银浆也比较少,欧姆接触效果不好,会造成串联的电阻较大。过烧时,银的消耗量会较平时多一些,而且会形成有银硅形成的混合层,这个混合层会起到阻碍的作用,同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。

  当无法判断烧结的状态时可以调节8区的温度,找到大概的调节点,然后缓慢进行微调。微调的时候我们可以通过背场的状态来判断,如果背场微微鼓起,那么就是出于过烧,所以应微调降低温度。

  在开始烧结之前要先确认每个加热灯管是否可以正常运行。检查各个温区的灯管输出的功率是否高于其他温区灯管的平均值,来保证烧结的平均性。







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