在真空热处理设备这个类别当中，真空淬火炉是使用较为广泛和具有代表性的典型设备，它具有以下一些特征：

1严格的真空密封众所周知，真空热处理时工件进行加热及淬火都在密闭的真空炉内进行，因此保证真空淬火炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。为了保证真空炉的真空性能，炉体必须采用气密焊接，上面开孔很少，以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都是密封结构。

2大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用真空淬火炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，这些材料具有耐高温，蒸汽压低，辐射效果好，导热系数小等特点。如国内现有真空淬火炉主要采用石墨作加热与隔热构料，它在大气状态下被加热极易氧化，因此，常规热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。3水冷装置

3真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件（水冷电极）、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件根据不同的情况设置有水冷装置，以保证真空炉能够正常运行并有足够的使用寿命。

4对工件加热采用低电压大电流

在真空热处理炉内，当真空度到几百帕(Pa)时，通电导体在较高的电压下，就会产生辉光放电现象，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80-100伏。同时电热元件尽量避免有尖端的部件，电极间的间距不能太窄等，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。

5自动化程度高因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作都在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须多个动作并且要在较短时间内完成。在这样迅速的条件来完成许多动作，是很容易造成操作人员的紧张而构成误操作。因此，大部分真空淬火炉采用了较高的自动化程序来进行控制。