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真空炉温度均匀性的测量过程

 真空炉温度均匀性的测量过程

 1. 准备工作

 将测量热电偶及控温热电偶按GB/ J351 1996 《中华人民共和国国家计量鉴定规程》中相关规定进行检测,检测合格方能进行炉温均匀性测定。自炉体拆下测温孔的盖板,将9 根经过检测合格的热电偶依次穿上密封垫圈、橡胶垫圈,自法兰孔中引入炉腔内,并依次按图1 位置固定在位于炉门口支撑架上,支撑架的尺寸为有效加热尺寸。将支撑架小心地移入炉腔内,放在炉床上,调整其位置,使之恰好与有效加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔,依次放入密封垫圈,橡胶垫圈上涂布真空脂,旋紧压紧螺栓,安装好法兰。  按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到工作真空度到达2 Pa 后,停机30 mi n ,观察真空计读数,看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内,正常则继续进行炉温均匀性的测量,不正常则重新调整旋紧螺栓,重新测定压升率,直到正常,才能继续进行炉温均匀性的测定。

 2. 测定过程

 根据工艺需求进行选定测量温度点为650 ℃、850 ℃和1000 ℃,在FP21 控温仪表上,设定升温曲线。  在控制偶到设定温度120min 后,开始测定各支热电偶的值。每隔5min 读取1 次,连续3 次,如果各点温度在所要求温度的±5 ℃ 以内,则此温度点测量完毕,否则继续等温,直到温度均匀或时间到达3h ( 工艺设定的保温时间) 为止并记录各点的温度。调整FP21 表,自650 ℃升温至850 ℃,保温120min,重复650 ℃温度点测量步骤。

 同样自850 ℃升温到1100 ℃,保温120min,重复650 ℃温度点测量步骤。以上数据分别填入记录表中,完成测定后,按正常的空炉冷却步骤进行降温。

 3. 恢复设备

 打开炉门,拉出测量支架,拆开固定热电偶的铁丝,拆下法兰盘,安装好原盖板,按正常使用进行压升率测试,按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到工作真空度到达2Pa 后,停机30min,观察真空计读数,看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内,合格则继续,设备可以正常使用,否则继续重新安装原测温口盖板。从测温法兰盘中拆下测量热电偶,注意抽出时要小心取直,以防止折断、损坏热电偶。

 







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